ANF MITI - Analyse du vide par spectrométrie de masse quadripolaire

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Objectifs

• Acquérir les bases de la physique de l’ionisation des gaz
• Acquérir les connaissances sur la spectrométrie de masse quadripolaire appliquée à l’analyse des gaz (principe et fonctionnement : source d’ions, filtre quadripolaire, détection et comptage
• Etre capable d’analyser les gaz : identification des pics d’ions moléculaires, de fragmentations et multichargés dans les spectres de masse

Public

Techniciens, ingénieurs, chercheurs ayant besoin de qualifier l’atmosphère résiduelle de leur installation de vide par spectrométrie de masse quadripolaire.

Programme

Jour 1

- Introduction : notion de masse et processus d'ionisation et de fragmentation

- L’analyseur de gaz résiduel (RGA ) :

• Les sources / l’extraction
• La filtration
• L’amplification / la détection

- Interprétation :

• Qualitative
• Quantitative (détermination de pressions partielles)
• Exemples

- Ligne d’introduction des gaz : conductances et compositions gazeuses

Jour 2

- Paramétrage des spectromètres :

• Réglage de la résolution, de la vitesse de scan...
• Réglage de l’alignement des pics
• Variation de l’énergie des électrons, des ions
• Variations de la tension des multiplicateurs d’électrons

- Etalonnage et analyses :

• Etalonnage du spectromètre de masse pour plusieurs gaz (mesure de la sensibilité)
• Analyses qualitatives pour des mélanges de gaz (interprétation des spectres)
• Analyses quantitatives pour des mélanges de gaz (calculs des pressions partielles)

Equipements :

3 spectromètres de masse quadripolaires (1 Prismaplus200 et 2 QMG422 - Pfeiffer)

Méthodes pédagogiques

Alternance de cours (50 %) et de travaux pratiques (50 %)

Exposés, travaux pratiques, analyses de pratiques et temps d’échanges informels.